TIANBO.com天博体育(中国大陆)科技公司的磁场和电子束缚能力有什么关系?

TIANBO.com天博体育(中国大陆)科技公司人气：2128 发表时间：2021-12-22 【小中大】

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为确保磁场的强度一致性，需要对所用磁铁的磁场强度进行挑选，尽量选择磁场强度一致的磁铁。阴极装配完毕后，采用高斯计沿阴极横向对磁场强度进行扫描测量，绘出磁场强度曲线，可采用调整磁铁到靶材距离的方法微调该处磁场强度，确保磁场沿阴极横向的一致性。

阴极使用过程中应严格控制冷却水温，并及时更换靶材，防止永磁体过热，因其过热不仅会导致磁场强度衰减，也会造成磁场不均现象。

镀膜室真空度、温度、TIANBO.com天博体育(中国大陆)科技公司恒定的真空度根据工艺气体流量，对分子泵抽速、数量配置和安装位置进行合理配置。完善可靠的腔室密封，所有的动密封如传动站、翻版阀等处均采用磁流体密封，盖板和腔室之间采用压差密封，即对两道密封圈之间的空间抽真空，从而提高大型密封面的密封效果。进出片过渡室内部各布置2～3套阻流器，减少门阀开启闭合对镀膜室内真空度的扰动。

温度控制阴极及镀膜室腔体通软化水冷却，并对进出水的温度和流量进行监控。

干燥度控制玻璃清洗完毕后应确保干燥充分。生产线旁应布置干燥压缩空气(CDA)储气罐，在空气湿度大的时候，进出片室在充气时可选择接通CDA，以减少进入腔室内的水蒸气分子。

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